Automation im Reinraum
Wafer-Handlingsysteme der Firma LIEB präsentieren eine neue Generation Wafer-Handler und setzen einen neuen Standard in sicherer Handhabung von dünnen, ultradünnen und verworfenen Wafern. Unsere konsequente Umsetzung des modularen Designs garantiert eine völlige Kompatibilität mit einer sehr großen Vielfalt von Wafer-Kassetten. Automatisierte Handlingsysteme sind für jede Waferherstellung oder Materialfördertechnik von entscheidender Bedeutung. Sie ersetzen die manuelle Handhabung von Wafern und ermöglichen die durchgängige Verfolgbarkeit der Produkte. Es gibt dadurch kein Risiko der Beschädigung oder Verschmutzung. Wafer-Handler sind ein wichtiger Bestandteil für das Materialflussmanagement und die Wirtschaftlichkeit in der modernen Halbleiterindustrie.
Reinraum
REINRAUMTAUGLICHES DESIGN UND MATERIAL
- polierte Edelstahlbauteile
- eloxierte Aluminiumbauteile
- Beschichtung der Anlagenumhausung nach Kundenvorgabe
- Pulverbeschichtung
- Nasslackierung
- Polycarbonat- oder Echtglasfüllung
Wafergrößen
Unser System wurde entwickelt um Wafergrößen von 100-300 mm (4“ bis 12“) aus Foup, SMIF oder„open cassettes“ zu prozessieren. Weiterhin ist eine gemischte Portbestückung möglich. Wie unsere Erfahrung zeigt, ist eine prozesssichere Verarbeitung von sehr dünnen und auch von sehr verworfenen Wafern möglich. Für einige Handlinganforderungen haben wir bereits Standardsysteme entwickelt, um auch ihre Prozesse bedienen zu können. (zum Beispiel Testequipment).
Endeffektorwechselsystem
Das LIEB Endeffektorwechselsystem ist für mehrere Endeffektoren ausgelegt und für Einzel- u. Dualarm Wafer-Handler tauglich. Unsere eigene Konstruktion und Fertigung ermöglicht eine hohe Flexibilität in Bezug auf mögliche kundenspezifischen Endeffektoren für jede Wafergröße.