Die oberste Maxime bei allen Komponenten und Anlagen, die wir im Bereich Halbleiter anbieten und fertigen, ist das sichere Handling der wertvollen Produktwafer. Die Eigenschaften dieser Substrate variieren stark, von sehr dünn und fragil bis dick und von eben bis stark verbogen. Sie sind so mannigfaltig wie die Prozesse, die bei der Herstellung eines Halbleiterbauelements durchlaufen werden.
Wir bieten mit unseren vollintegrierten Systemen die Möglichkeit, Ihr eigenes Prozessmodul oder -technologie, in eine vollautomatisierte Anlage einzubringen. Mit unseren eigens entwickelten Komponenten und Modulen wie Greifern, Load Ports und EFEMs stellen wir das sichere Handling von Wafern aller Art sicher.
