Mit unseren vollintegrierten Systemen bieten wir Ihnen die Möglichkeit Ihr Prozess- / Technologiemodul in eine voll automatisierte Waferhandling-Umgebung einzubetten.
Vollintegriertes System – Konfigurationsmöglichkeiten
bestehend aus 2 Bereichen
Hinterer Bereich reserviert für Ihr Prozessmodul
Vorderer Bereich für Be- und Entladen von Wafer in Ihr Prozessmodul
kann mit verschiedenen Optionen ausgestattet werden
Load Ports
FOUP
SMIF
Offene Wafer Kassetten
End Effektoren (EE)
Roboter
Einarm
Doppelarm
Endeffektor Wechsler
EE Parkstation
Prealigner
ID-Lesegerät
Flip Station
Rotationstrockner
EE Trockenstation
OHT Option
Filter-Einheit
Beispiel eines Vollintegrierten Systems
Beispiel Layout eines Vollintegrierten Systems
Gestalten Sie mit uns Ihre neue Maschinen Plattform. Wir passen die Anlage nach Ihren Bedürfnissen an, in Außenmaßen als auch in der Ausstattung. Kontaktieren Sie uns für nähere Informationen.
