Vollintegrierte Systeme

Mit unseren vollintegrierten Systemen bieten wir Ihnen die Möglichkeit Ihr Prozess- / Technologiemodul in eine voll automatisierte Waferhandling-Umgebung einzubetten.

Vollintegriertes System – Konfigurationsmöglichkeiten

Beispiel eines Vollintegrierten Systems

bestehend aus 2 Bereichen

  • Hinterer Bereich reserviert für Ihr Prozessmodul
  • Vorderer Bereich für Be- und Entladen von Wafer in Ihr Prozessmodul

kann mit verschiedenen Optionen ausgestattet werden

  • Load Ports
    • FOUP
    • SMIF
    • Offene Wafer Kassetten
  • End Effektoren (EE)
  • Roboter
    • Einarm
    • Doppelarm
    • Endeffektor Wechsler
  • EE Parkstation
  • Prealigner
  • ID-Lesegerät
  • Flip Station
  • Rotationstrockner
  • EE Trockenstation
  • OHT Option
  • Filter-Einheit
Gestalten Sie mit uns Ihre neue Maschinen Plattform.

Wir passen die Anlage nach Ihren Bedürfnissen an, in Außenmaßen als auch in der Ausstattung.

Kontaktieren Sie uns für nähere Informationen.

anfrage@werner-lieb.de

Beispiel Layout eines Vollintegrierten Systems
Beispiel Layout eines Vollintegrierten Systems
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