Equipment Front End Modul (EFEM)

Sie sind auf der Suche nach einer Möglichkeit Wafer in und aus Ihrem System zu laden?

Dann ist unser “Equipment Front End” Modul die passende Lösung. Das Modul kann zudem mit weiteren unterschiedlichen Funktionen ausgestattet werden.

EFEM – Konfigurationsmöglichkeiten

Folgende Optionen stehen zur Ausstattung des EFEM zur Verfügung:

  • 2 Load Ports
    • FOUP
    • SMIF
    • Open Cassette
  • Endeffektoren (EE)
  • Roboter
    • Einarm
    • Doppelarm
    • Endeffektor-Wechsler
  • EE Parkstation
  • Prealigner
  • DMC Code-Leser
  • Wende-Station
  • Rotationstrockner
  • OHT Option
    • Lichtvorhang
    • E84
  • Filter-Einheit
LIEB EFEM mit LIEB LP200-SMIF Load Ports
Layout Beispiel eines EFEM
Layout Beispiel eines EFEM
Wir passen das EFEM auf Ihre Bedürfnisse an, sowohl in den Außenmaßen als auch in der Ausstattung.

Kontaktieren Sie uns für nähere Informationen.

anfrage@werner-lieb.de

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