Im Bereich Wafer Load Ports bieten wir mit dem LP200-SMIF ein Load Port an, dass SMIF Pods mit einem RSP200 Interface öffnen und schließen kann.

LP200-SMIF Merkmale

• Kompatibel für RSP200 SMIF Wafer Pods
• Wafer Mapping mittels Lichtschranke
• Erkennung von Wafern in den Positionen
  • korrekt eingelegt
  • versetzt eingelegt
  • doppelt belegt
• 4 Status LEDs
• SEMI E19.4-0417
• Reinheit ISO Klasse 3
• Made in Germany

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