Werner Lieb Halbleiter

SMIF Load Ports für Reticle

Der LP200-SMIF WR T ermöglicht das einfache Be- und Entladen von Masken in RSP200 SMIF Pods.

LP200-SMIF WR Merkmale

  • Grundplatte für SMIF Pods mit RSP200 Tür
  • Edelstahl Einhausung
  • Sonsoren für
    • Pod vorhanden
    • Haube vorhanden
    • Maske vorhanden
    • Maske steht über
  • 4 Status LEDs
  • SEMI S2, S8, E100 und E19.4-0417
  • Reinheit ISO Klasse 3
  • Made in Germany
LP200-SMIF WR mit RSP200 Schnittstelle
LP200-SMIF WR mit RSP200 Schnittstelle

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anfrage@werner-lieb.de

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