SMIF Load Ports für Reticle
LP200-SMIF WR Merkmale
- Grundplatte für SMIF Pods mit RSP200 Tür
- Edelstahl Einhausung
- Sonsoren für
- Pod vorhanden
- Haube vorhanden
- Maske vorhanden
- Maske steht über
- 4 Status LEDs
- SEMI S2, S8, E100 und E19.4-0417
- Reinheit ISO Klasse 3
- Made in Germany
LP200-SMIF R Merkmale
- Kompatibel für RSP200 Single Mask Pods
- Edelstahl Einhausung
- Sensoren für
- Pod platziert
- Haube vorhanden
- Maske vorhanden
- Pellicle vorhanden und Orientierung
- Maskenüberstand und Rahmenbelegung für sichere OHT Beladung
- 8 Status-LEDs
- SEMI S2, S8; E19.4-0417, E15, E100, E117 konform
- Reinheit ISO Klasse 1
- CE, Made in Germany
LP200-SMIF R EUV Merkmale
- Kompatibel für RSP200 Single Mask Pods wie auch EUV Mask Pods
- Edelstahl Einhausung
- Sensoren für
- Pod platziert
- Haube vorhanden
- Inner Pod vorhanden
- Maske vorhanden
- Pellicle vorhanden und Orientierung
- Maskenüberstand und Rahmenbelegung für sichere OHT Beladung
- 8 Status-LEDs
- SEMI S2, S8; E19.4-0417, E15, E100, E117, E152 konform
- Reinheit ISO Klasse 1
- CE, Made in Germany
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