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Substrat-Handling

Endeffektor-Wechsler

Unser Endeffektor-Wechsler ist das ideale Werkzeug, um mit mehr als einem Endeffektor in einer Anlage die Wafer zu handeln.

Endeffektor-Wechsler Merkmale

Über eine mechanische Verriegelung können unterschiedliche Endeffektoren an dem Roboterarm befestigt werden.

Alle Endeffektoren können in einem LIEB Endeffektor Bahnhof in der Maschine geparkt werden.

Wünschen Sie nähere Informationen? Kontaktieren Sie uns, wir helfen Ihnen gerne weiter.

anfrage@werner-lieb.de

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